5.2.1 儲存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場所應(yīng)設(shè)置特種氣體探測裝置：

(2) 毒性氣體檢測采用電化 學(xué) 檢 測 裝置。

(3) 根據(jù)使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式，正確選用擴(kuò)散式檢測裝置、單點(diǎn)或多點(diǎn)吸人式氣體檢測裝置。

5.2.3 為了明確檢測報(bào)警裝置的工作狀況，防止事故發(fā)生，本條規(guī)定了自燃性、易燃性、毒性氣體檢測裝置報(bào)警設(shè)定值的要求，本條第1款-第3款為強(qiáng)制性條款，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

1 本款規(guī)定了自燃性 、易燃性氣體的一級報(bào)警和二級報(bào)警設(shè)定值，一級報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值是為了在氣體早期泄漏時(shí)，通過一次和二次監(jiān)測報(bào)警，自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，關(guān)斷氣源，防止事態(tài)擴(kuò)大，采用25%和50%分別作為一級和二級報(bào)警值時(shí)行業(yè)內(nèi)的通常做法，既可以判斷氣體泄漏，泄漏的氣體濃度又不會引起爆炸。

2 本款規(guī)定了劇毒性 、毒性氣體的一級報(bào)警和二級報(bào)警設(shè)定值，目的是在氣體早期泄漏時(shí)，自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，保護(hù)工作人員的生命安全，一級、二級報(bào)警設(shè)定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗(yàn)規(guī)定的。

3 本款 規(guī) 定 了 惰性氣體間的氧氣探測器的一級報(bào)警和二級報(bào)警設(shè)定值，目的是為了防止惰性氣體泄漏導(dǎo)致人員窒息傷亡，氧氣探測器一旦報(bào)警，啟動應(yīng)急排風(fēng)和自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥，保護(hù)工作人員的生命安全，一級、二級報(bào)警設(shè)定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗(yàn)規(guī)定的。

4 本款規(guī)定 二 氧 化 碳?xì)怏w系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳?xì)怏w探測器，主要是因?yàn)榻陙?，電子工廠發(fā)生二氧化碳泄漏導(dǎo)致人員傷亡的情況，為保護(hù)人員生命安全，制定本款，目前國內(nèi)電子工廠多采用5000ppm作為CO

₂的報(bào)警值。美國消防協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)《壓縮氣體和低溫液體規(guī)范》NFPA 55-2016第A.13.6.2.1條也做了規(guī)定，美國政府工業(yè)衛(wèi)生醫(yī)師學(xué)會(ACGIH)關(guān)于TLV_S和BEI_S，即化學(xué)物質(zhì)、物理藥物和生物暴露數(shù)組的臨界極限數(shù)組(TLV_S)，CO₂的最高允許濃度值一時(shí)間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)確定為5000ppm，短期數(shù)組(STEL-TLV)為30000ppm。

5.2.4 本條確定的數(shù)值符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測報(bào)警設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》GB 50493中的有關(guān)規(guī)定，同時(shí)結(jié)合半導(dǎo)體工廠使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應(yīng)要求做出檢測報(bào)警響應(yīng)時(shí)間規(guī)定。

5.2.5 氣體探測器的設(shè)置位置是否恰當(dāng)將直接影響到能否及時(shí)、正確報(bào)警，為確保生產(chǎn)廠房和特種氣體系統(tǒng)安全、穩(wěn)定運(yùn)行，本條按特種氣體相對密度的不同，做出了氣體探測器的設(shè)置位置不同的規(guī)定。

5.2.6 本條為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。規(guī)定在硅烷排風(fēng)管道中設(shè)置氣體探測器，設(shè)定報(bào)警值并與硅烷氣源的自動切斷閥進(jìn)行聯(lián)鎖，目的是為了硅烷系統(tǒng)能做到早期報(bào)警，防止事故產(chǎn)生。規(guī)定硅烷站設(shè)置環(huán)境氣體探測器，設(shè)定報(bào)警值但不與硅烷自動控制系統(tǒng)聯(lián)鎖，這是為了防止環(huán)境中的硅烷氣體探測器誤報(bào)警導(dǎo)致影響正常生產(chǎn)，綜合考慮安全與生產(chǎn)的關(guān)系后，規(guī)定報(bào)警但不切斷輸送系統(tǒng)，工作人員可在不停產(chǎn)的情況下，確認(rèn)報(bào)警是否是由硅烷泄漏引起還是其他原因造成的誤報(bào)。美國國家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會標(biāo)準(zhǔn)《硅烷和硅烷混合物的儲存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.1.4.1條(排風(fēng)區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控)和11.1.4.2條(排風(fēng)區(qū)域外的監(jiān)控)也做了規(guī)定，現(xiàn)摘錄如下：

11.1.4.1 排風(fēng)區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控：排風(fēng)區(qū)域應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝置，當(dāng)硅烷氣體濃度小于或等于50ppm時(shí)，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報(bào)警。

11.1.4.2 排風(fēng)區(qū)域外的監(jiān)控：排風(fēng)區(qū)域外應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝 置，當(dāng)硅烷氣體濃度小于或等于5ppm 時(shí)，氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報(bào)警。